二手 MITSUI SEIKI SP-40D #9230484 待售

MITSUI SEIKI SP-40D是一种光刻设备,专为高分辨率半导体器件设计.该系统配有先进的微处理器控制光学单元、高分辨率光学器件和控制光刻胶曝光过程的先进软件。它是对硅片等材料等半导体基板进行制图的理想机器。该机由先进的光学工具、光源和高精度扫描机构组成，为晶圆配准提供精确的掩模。照明源可以是电子枪或高功率LED源。LED源能够在比电子枪更广泛的曝光条件下提供更高的分辨率。光学资产由一组目标和一个允许精确曝光对准的电动级组成。该模型还配备了一个直观的用户界面，使参数设置和过程控制变得容易。它提供流程监控、数据记录、流程模拟和数据分析,以优化流程。设备还支持用于控制光刻胶曝光算法的各类软件。SP-40D有一个内置的自动对焦系统，允许自动对焦设置，使得光刻曝光的过程更加简单。此外,此单元还提供了广泛的工艺,如旋转涂层、蚀刻、接触打印、晶圆切割和图样检查。它还提供各种工艺参数的选项,例如照明强度、曝光时间、扫描速度和曝光后烘烤时间。总体而言，MITSUI SEIKI SP-40D是一台功能强大、可靠的光刻机，能够为半导体器件工艺提供精确、高分辨率的光掩模。它设计为用户友好,并提供各种功能和功能,可根据每个应用程序的需要轻松配置。它可用于半导体工业中的多种模式化应用。