二手 MTI FLEXIFAB #16662 待售

MTI FLEXIFAB是Molecular Track Imaging（MTI）开发的用于定向能量应用的光阻设备。FLEXIFAB利用一种基于聚合物的光刻技术，这种技术涉及到一个特定的图桉化光致抗蚀剂层，其中光致抗蚀剂材料对紫外线沿各种预定路径的曝光反应不同。通过控制图像与基板的比率（I/S比率）和其他参数，可以在复杂的基板上实现所需的图样。MTI FLEXIFAB是一种支持功能的系统，具有无与伦比的光刻多功能性。它能够产生与最新Deep UV （DUV）系统相当的分辨率,但不需要昂贵的DUV硬件。该单元具有集成的计算机硬件、定制软件、晶圆识别和校准功能以及直观的操作功能。FLEXIFAB机专为高速运行而设计，允许微电子器件的快速周转。它为软直接写入（SDW）和直接成像（DI）等光刻胶应用提供了最佳效果。MTI FLEXIFAB已成功地被用于生产动态随机存取存储器（DRAM）和应用特定集成电路（ASIC）。FLEXIFAB提供了非常精确的光刻范围.该工具可以产生极好的图像,具有极高的清晰度和均匀性。自动校准和晶圆识别功能结合使用多种光掩模和基板，在结构完美对准方面具有灵活性和精确度。该资产中使用的光刻胶具有极高的分辨率，允许光学放大倍率高达10,000X。该模型特别适合于微电子器件的批量生产。它可以改进现有技术，同时还能提供成本效益高的新技术设计方法。此外，设备兼容多种基板和光掩模。这使制造商能够快速生产高可重复性和准确性的大量产品。综上所述，MTI FLEXIFAB系统是一种高效、技术先进的光阻装置，其先进的特点、可编程性和速度可见一斑。它允许极其精细的图像，并且与多个基板和光掩模兼容。集成的特性、晶圆识别和可重复性使其非常适合以经济高效的方式批量生产微电子器件。