二手 MTI FLEXIFAB #83580 待售

MTI FLEXIFAB是一种光刻设备，有助于简化半导体制造晶片的制备和加工。它旨在加速光刻以及通过先进的3D体系结构和异构集成的墙面蚀刻过程。该系统可以集成到任何标准的制造设施中,从而实现多功能性和可扩展性。FLEXIFAB具有一项专利技术,称为"Smart Flex",可自动解决线缝、迭加和注册问题。该设备的可扩展性允许多达8英寸的基板,还具有25毫米的侧壁选项,并具有高达0.2µm的精细特征分辨率。Smart Flex功能确保对适当的薄膜成型进行集成过程控制,以实现所需的1 µm至大于20 µm的薄膜厚度,并能够进行无寄存器晶圆配准。光刻机通过将光刻图样和蚀刻的各个步骤集成到一个设备中，提供了高容量的吞吐量。这简化了工艺，从而降低了制造成本。该工具易于使用,需要最少的操作员干预,并提供更好的均匀性和屈服性能。对资产的实时流程监测和控制使流程管理更加有效，从而提高了吞吐量并提高了收益率。MTI FLEXIFAB支持多种材料，从硅到GaAs，以及蚀刻、湿洗和干洗、剥离、纳米结构形成等各种工艺。它配备了先进的光学检测模型，提供强大的工艺生成和审核，最大限度地提高产量，减少宝贵的劳动时间。该设备逐层处理芯片上的光刻胶，实际上消除了手工制作电子设备的石刻图桉。它专为电子产品的快速原型设计,允许更短的开发周期、更好的成本控制和改进的产品性能。这种光刻胶系统有助于提高产量，缩短生产周期，进一步提高成本效益。