二手 MTI FLEXIFAB #9073864 待售

MTI FLEXIFAB
製造商
MTI
模型
FLEXIFAB
ID: 9073864
晶圆大小: 6"
Developer, 6" Stand alone: indexer developer.
MTI FLEXIFAB是一种具有超柔性成像技术的光阻系统,可用于先进的3D光识别技术。光致抗蚀剂是一种光敏材料,用于微加工,可用于将材料薄层沉积在基板上。FLEXIFAB利用专有的光刻材料创建分辨率小至10nm的3D结构,而无需传统的光刻技术。MTI FLEXIFAB使用高能、超短波长光源,如脉冲激光二极管或激光枪,以所需的形状对光抗蚀剂进行制图。在给定的光致抗蚀剂层中创建的图样可以转移到诸如硅、石英或玻璃基板等基板上。3D光刻胶图桉构成了3D照片图桉的基础,使得改进的微设备和MEMS元件得以制造。FLEXIFAB还允许使用复杂的光刻胶结构,从而允许制造分辨率为10nm或更低的3D打印结构。这使得它对于制造极小的微电子元件特别有用。能够在彼此对齐的不同基板块之间传递图样,可以实现很大的控制和准确性。在光致抗蚀剂制图过程中,将图像曝光,然后将光致抗蚀剂在一种溶液中显影,该溶液将已暴露于光源的光致抗蚀剂除去。这一过程的结果是制造了一种三维结构,它可以被操纵和控制的精度和精度下降到一个纳米。MTI FLEXIFAB适用于广泛的微电子和MEMS应用。超短波长光源提供的灵活性和控制使其特别适合于制造集成电路、微流体系统和光电子。也适用于为医疗植入物、传感器和其他微机电元件制作原型。FLEXIFAB是一种经济高效、可靠的光刻胶系统,为生产分辨率为10nm或更低的复杂3D光刻结构提供了理想的解决方桉。超短波长光源所允许的精度和控制,使其成为寻求制造改进微设备和MEMS组件的人的绝佳选择。
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