二手 MTI FLEXIFAB #9094989 待售
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ID: 9094989
晶圆大小: 6"
Automated photoresist spinner and bake system, 6"
Robot arm
Touch screen monitor
No photoresist pumps with system and control box.
MTI FLEXIFAB是一种基于化学放大化学的光刻胶系统。它由一个酸发生器、一个硅烷末端单体、一个光引发器和一个显影剂组成。它旨在为柔性电子电路和系统的生产提供高分辨率、大面积成像和蚀刻效果。FLEXIFAB中所含的酸发生器是一种光聚合的脂族聚酰亚胺,在紫外线照射下产生酸。这种酸为光刻胶的对比度控制提供了基础。硅烷末端单体被添加到酸发生器中,以增强和稳定光致抗蚀剂的结构和性能。它还增加了蚀刻阻力,能够在高温和腐蚀性的工艺环境中生存。然后将光引发剂加入配方中,以提供光敏电阻的光活性。光引发剂对光产生反应,产生反应性物质,从而启动光聚合过程。这些反应性物质将基质上的脂族质子磺化,并引起制剂的交联,在基质上生成抗蚀剂结构。MTI FLEXIFAB中使用的显影剂是一种溶剂基碱性成分。暗场或明场成像技术一旦暴露在紫外线源之下,就可以用来设置光刻胶中的图样接头。在开发过程中,应用这种碱性来缓解暴露的、不溶性的抗性物质,"发展"所需的模式。酸性发生器和硅烷末端单体的组合,旨在提高柔性电子的蚀刻性能。树脂被设计成能够蚀刻ITO、不锈钢、聚酰亚胺、聚酯、聚丙烯等多种柔性基材。FLEXIFAB在使用这些基板时,在线宽、厚度和边缘定义性能方面提供了良好的分辨率。总体而言,MTI FLEXIFAB为柔性电子产品的图像和蚀刻提供了独特的材料解决方桉。它是一种可靠的光刻胶系统,提供高分辨率成像,出色的蚀刻性能,以及出色的线宽、厚度和边缘清晰度。其耐受恶劣环境的能力和广泛的基板兼容性使得它成为柔性电路生产的一个非常有吸引力的选择。
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