二手 MTI FLEXIFAB #97296 待售

MTI FLEXIFAB是由Material and Testing Instruments（MTI）开发的用于制造复杂半导体器件的光刻设备。该系统具有高度的灵活性，可以创建广泛的结构，包括盲孔、台阶覆盖和表面轮廓。该单元由两个主要组件组成：一个光刻沉积机和一个模式发生器。光致抗蚀剂沉积工具设计用于在基板上均匀地沉积一层光致抗蚀剂。它利用高容量的自动抗拒微调来精确控制抗拒应用过程。旋转器能够以不同的速度沉积抗蚀剂，并且具有很高的可重复性，允许在不同的基板上得到一致的结果。第二个组件是模式生成器。此设备用于将图样打印到沉积的光刻胶上,作为蚀刻过程的指南。可以将模式编程到资产中,以精确控制创建的结构的大小和形状。该设备还包括一个摄像头，可用于识别图样中的缺陷，允许根据需要进行调整。这两个组分的结合提供了许多优于传统光刻工艺的优势。这样的好处之一就是模型能够创建复杂的三维结构，而传统的光刻技术是不可能做到的。此外,对抗蚀剂应用程序和阵列化过程的高度精确控制可提高线路分辨率,并提高流程的可重复性。总体而言，FLEXIFAB是制造复杂半导体器件的高效设备。其精确的控制和灵活的特性使得能够创建高度复杂的设计,并提高线路分辨率、产量和可重复性。因此，它是现代半导体生产工艺的理想选择。