二手 MTS Marangoni #9165831 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9165831
优质的: 2012
Dryer
N2 Flow -SCFH (SLPM):
Heated N2, High flow
Min: 636 (300)
Max: 1059 (500)
Typical: 850 (400)
Heated N2, Low flow
Min: 50 (23.5)
Max: 75 (35.4)
Typical: 60 (28.3)
IPA Bubbler
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
IPA Purge
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
Static purge
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
Chassis purge
Min: 10 (4.7)
Max: 20 (9.4)
Typical: <15 (7.1)
N2 Temperature:
Heater core: Ambient to 200°C
Heater over-temp:
External surface (Snap switch): 162°C
Heater core: 250°C
Gas temp:
Programmable
Ambient to 160°C
130°C typical
DI Water flow:
During process: 10-15 GPM (38-57 LPM)
Idle (Trickle flow): 1.5 GPH (.09 LPM)
Process capacity (Wafers per run):
Dual tanks: (50) 6" wafers-two cassettes of 25 wafers
Single tank: (25) 12" Wafers
Down and move out time: 6 Hours
Currently installed
2012 vintage.
MTS Marangoni是一种最先进的光刻胶设备，旨在确保需要光刻胶涂层的制造工艺具有高度的精确度和效率。该系统采用了超精密液体涂层的专利工艺，使光刻胶能够高效可靠地应用于废弃物和损耗最小的基板上。这种光刻胶单元为用户提供了一系列的定制选项，使他们能够根据自己的特定需求量身定制涂层，从而产生机械性能优越、光学清晰度高的光刻胶薄膜。Marangoni光致抗蚀剂是一种紫外线敏感的聚合物溶液，使用专门设计的机器人机器分配。这种涂层被应用到大多数材料上，具有高精度和重复性，使用户能够生产出浪费最小化的大型高精度零件。MTS Marangoni工具还提供一系列厚度控制,以帮助管理薄膜的厚度以获得最佳的光学性能。使用一系列精密喷嘴将溶液雾化成微小的液滴，确保均匀的覆盖面和最大的性能，来分配光致抗蚀剂。这种液滴沉积过程可确保光致抗蚀剂均匀地应用于基板表面，而不会产生任何空隙或不符合要求。Marangoni资产还提供了一些灵活性调整，包括控制层数和轨道宽度的能力。这样可以确保用户能够准确、一致地应用多个光刻胶层。MTS Marangoni光刻胶模型旨在使光刻胶涂层工艺更容易、更高效。通过消除浪费的时间和产品,Marangoni设备使用户能够以最低的工作量和成本生产出优秀的光刻胶片。MTS Marangoni光电抗蚀剂系统设计简单而坚固,为用户提供了精确、可靠和高效的工作流程。
还没有评论