二手 MUSCAT SPL-455 #9198107 待售

MUSCAT SPL-455是一种设计用于半导体制造过程的光阻设备。它由三菱化工开发，旨在在广泛的光刻应用中提供高纯度、均匀性和可靠性。与传统的光致抗蚀剂系统不同，SPL-455的设计能够承受高温，因此非常适合用于需要高温稳定性的薄膜加工和其他晶圆级工艺。该系统由一个电化学蚀刻浴和一个高纯度的光活性剂组成，当暴露在紫外线下时，会在底物上产生电化学反应，从而导致光致抗蚀剂层的蚀刻。MUSCAT SPL-455中的光活性剂由几种高纯度化合物的溷合物组成，其中包括一种稳定剂，如盐、酸、氧化剂和光致抗蚀剂溶剂。当蚀刻浴暴露在紫外线下，光活性剂中的化合物会带电，引发电化学反应。这导致了光致抗蚀剂层的蚀刻，使得分辨率和可重复性比传统光致抗蚀剂系统高得多。电化学蚀刻浴本身的设计是为了保持温度和化学水平的一致和精确，允许重复性和质量，而不需要频繁的维护或校准。该单元还提供了各种各样的过程控制机制，包括多个可定制的参数，例如蚀刻速度和蚀刻速率，以及旨在提高自动化的高级工具和软件。SPL-455是一种可靠、高质量的光刻机,具有多种功能,用途广泛,非常适合半导体制造过程。凭借其先进的材料、技术和工艺，该工具为用户提供了无与伦比的可靠性和性能。