二手 NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9244887 待售

NEXX SYSTEMS Stratus 300是一种设计用于微电子制造的光阻设备。其关键优点是分辨率高、溶剂消耗低、工艺控制先进。光致抗蚀剂用于将特征蚀刻到硅片或印刷电路板（PCB）等基板上。光致抗蚀剂是一种光敏材料，可以在制造过程中进行化学处理，以保护基板的某些区域。Stratus 300光致抗蚀剂系统由涂层单元和抗蚀剂加工机两个主要工艺组成。涂层工具使用自动化的旋转涂层工艺，在基板上涂上均匀的光刻胶层。可以控制最佳涂层厚度的旋转速度和分配时间。抗蚀剂加工资产用于表露和开发基材。它采用带有内置快门的水银弧灯，使曝光时间更快。NEXX SYSTEMS Stratus 300包括一个可容纳18个托盘的自动鸡蛋托盘装载机。它还包括一个完全集成的化学剂量模型，可以配置为控制化学水平、温度和时间。Stratus 300提供先进的工艺控制和出色的分辨率。快门速度可以设置为不到一毫秒，允许非常精确和一致的曝光时间。此外，NEXX SYSTEMS Stratus 300支持使用多种掩模格式和多种波长曝光系统。总体而言,Stratus 300是一款顶级光刻设备,提供出色的工艺控制和分辨率。其先进的自动化和集成的化学剂量系统使其非常适合大批量生产。该装置非常适合用于微电子制造，由于溶剂消耗低，可节省成本和提高产量。