二手 NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9278180 待售

NEXX SYSTEMS Stratus 300是一款世界级的光刻胶设备，旨在满足最苛刻的光刻胶工艺的严格要求。它以经济高效的方式提供高吞吐量、准确、可重复和可重现的处理。Stratus 300适用于包括多层金属化、薄膜形成和干蚀刻在内的所有标准光刻工艺。它提供了极佳的抗蚀剂轮廓均匀性和最小的污染，设计用于快速和精确的时间多次接触步骤。其高吞吐量系统产生一致的结果，最高处理速度高达200层/分钟。NEXX SYSTEMS Stratus 300包含了几个高级功能。其多级预烘烤模块为改进沉积和蚀刻提供了高效的预清洗工艺。预烘烤模块可防止高温过程中的抗裂纹，并确保在光敏结晶过程中均匀的抗变薄。Stratus 300具有独特的控制单元，简化了机器的操作，并提供了曝光参数的完全灵活性。控制控制台包括多个曝光周期、可编程逻辑功能、PID反馈控制和阻尼器,以及用于配方管理的数据库。NEXX SYSTEMS Stratus 300包括许多高级功能,包括高分辨率微孔对准工具、纳米点均匀性和点匹配算法,以及自动基板手势跟踪资产,以提高均匀性和可重复性。Stratus 300专为低成本、可靠加工高价值光刻胶产品而设计。其灵活的前端材料模型使设备与多种化学和底物高度兼容。NEXX SYSTEMS Stratus 300可最大程度地减少污染,适合单层和多层工艺,从而提高吞吐量并缩短上市时间。