二手 NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9289374 待售

NEXX SYSTEMS Stratus 300是一种用于半导体制造工艺的光敏设备。它专门设计用于将高质量的图样蚀刻到具有高达1 µm/线宽度的高分辨率图样能力的晶片上。Stratus 300采用先进的多束紫外线光源,提供最先进的光刻技术,能够产生高达365 nm波长的3J/cm2曝光能量。它还包括一个高对比度、低反射的优化波长优化系统，以提高蚀刻精度。NEXX SYSTEMS Stratus 300具有全自动对准单元和用于测量关键特征的集成计量机,可处理直径不超过8英寸的晶片。该工具采用动态交换机制进行晶圆交换和快速装卸。Stratus 300除了具有高分辨率蚀刻功能外,还使用先进的计算机软件提供数据处理和控制系统,以跟踪、控制和报告所有相关的光刻蚀刻配方。这样可以更快、更准确地进行蚀刻操作,并能够监控和记录结果以进行质量控制和详细的错误跟踪。NEXX SYSTEMS Stratus 300还包括一个独特的自动聚焦功能,最大标线尺寸为75 mm,使其能够以高精度蚀刻到纳米级。此外,自动调平资产通过控制掩模倾斜、聚焦、抗厚度和曝光等工艺参数,确保整个晶片的蚀刻均匀。总体而言,Stratus 300是一款先进可靠的光刻胶型号,具有丰富的特性和功能。NEXX SYSTEMS Stratus 300具有高分辨率的蚀刻精度和精确控制蚀刻过程的能力，是半导体制造的理想解决方桉。