二手 NIDEC SD103 #9115732 待售

NIDEC SD103是由NIDEC有限公司开发的一种先进的光阻设备,其设计目的是为用户提供在所选基板上精确、精确地通过抗蚀剂图样进行蚀刻的能力。该系统设计用于处理半导体芯片，如DRAM、SRAM和ROM芯片，也能够在涂层晶片上进行其功能。光致抗蚀剂工艺包括将光掩模排列到选定的基板上,然后将其置于针对要开发的特征的大小进行优化的曝光光源下。然后使用显影剂解决方桉开发抗蚀剂模式,去除暴露在光线下的区域。基板的裸露区域成为蚀刻区域，未暴露区域成为非蚀刻区域。NIDEC SD-103单元以面积减小机为特色，使其能提供0.2µm x 0.2µm或更小的光刻胶图桉。它还拥有一个高分辨率的图像捕获工具，使它能够检测和显示连续图像之间可能发生的任何差异。此资产旨在确保蚀刻的一致性。SD103模型还具有全自动处理设备,能够处理各种任务。这种自动化允许用户对系统设置进行编程，以适应他们的特定需求，范围从温度调整到压力控制。此外,该单元能够在单个通道中执行多个抵抗步骤,从而缩短了整个过程的时间。SD-103光刻机具有广泛的安全功能，以确保该刀具达到最高标准并在其指定的操作参数内工作。它的自动化安全资产不断监视压力、温度和其他因素,以防止对过程造成任何形式的损害。这种先进的光刻胶模型是寻求精度和精确度者的理想选择。它的自动化功能和一系列安全功能确保NIDEC SD103设备能够满足其用户的要求,而不管正在执行的蚀刻项目的规模和范围如何。