二手 NOVELLUS / LAM Saber XT #9224442 待售
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ID: 9224442
晶圆大小: 8"
Cu Plating system, 8"
System controller
Module controller
Cassette handler controller
Main system:
Wafer cassette: 25 wafer
Mini-environment: SYNETICS
Chase computer / monitor: Desktop PC/CRT
Exhaust kit: TOP Mount
Drain kit: Backside
Cassette handler module:
Load port: Static nests, (4) stations
Wafer aligner type: Mechanical center finder
Robot type: AQR7 BROOKS
End effector: SST x/ Vacuum port
Mapping type: Thru-beam
Wafer release: With puff
Plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Clamshell type: Standard
Clamshell cup type: PPS
Clamshell cylinder: Pressure-vacuum cylinder
ANODE Type: Standard
(2) TI Cables
SAC
Clamshell lift: IAI
ACR
Active top hat
Plating power supply: AE Pulse power supply
Post plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Chuck type: PPS
Wafer present sensor mount: Standard
EBR
Bath module:
Totalizer #1 & #2 manufacture: FLORITE
Dosing pump 1,2 &3: MS1602-024
Recirculation pump: IWAKI WALCHEM CMD-101
CDM Level sensor type: KEYENCE
Heat exchanger: NESLAB HX-75
Auxiliary equipment:
Chemical monitoring system (CMS): ECI QLC-7000
Chemical delivery system (CDS): OEM
Mini delivery system (MDS): OEM
DI Water delivery system: OEM
Input voltage: 208 VAC, 50/60 Hz, 100 A.
NOVELLUS/LAM Saber XT是一种光刻设备，设计用于各种苛刻的工业应用。该系统采用专利、一次性使用和单步处理，以提供用户友好和经济高效的精确成像。该设备先进的光刻技术是独一无二的,在成像方面可提供高通量和无与伦比的精度。它具有极强的适应性，可以针对不同的工作快速设置，同时仍以最佳性能水平运行。该技术还确保了光刻成像的最高分辨率、准确性和可重复性。LAM Saber XT配备了专用的高功率光学成像机，采用了先进的基于激光的方法。基于激光的标志性方法使工具能够保持非常高的精度。此资产还旨在促进提高生产效率的功能,例如直观和可编程的数据记录模型,以及实时性能监控以进行监督控制。设备的硬件以直观的软件套件为后盾,该套件旨在为用户提供最大的灵活性和易用性。加载了可编程功能，软件可以很容易地定制，以适应任何特定任务的需求。对于需要简单可靠的光刻成像系统的用户来说，这是一个完美的选择。最后,NOVELLUS Saber XT的设计具有极大的耐用性和灵活性.其重型部件被安置在一个封闭的单元中，以最大限度地延长寿命并最大限度地减少潜在的维护。此外，Saber XT可以在各种环境条件下安全操作，包括极端温度和辐射，使其成为广泛工业应用的理想选择。最后,NOVELLUS/LAM Saber XT是一款业界领先的光刻机,设计独特,可为各种苛刻的工业任务提供精确成像。其先进的激光成像工具、直观的软件和耐用的结构使其成为寻求可靠可靠性能的人的理想选择。
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