二手 OKK OKK-500M #9153451 待售

OKK OKK-500M是一种高精度光刻设备，是现代光刻技术发展的重要一步。通过将先进的光学技术、纳米定位精度和自动化技术相结合，该系统在多用途、易于使用的设计中提供了卓越的图像分辨率和过程稳定性。适用于MEMS、复合半导体、柔性印刷电路板等领域的多种应用，以及传统的器件制造。OKK-500M是一个具有12通道多层托盘堆栈的交钥匙自动化单元,可实现多层处理以实现高容量生产。它专为实时统一、精确的薄膜厚度控制而设计,即使在尺寸小、宽度低至50 nm的情况下也能获得优异的效果。其先进的激光束扫描技术提供高达4 um的翻转芯片分辨率，具有很高的可重复性和精度而不会漂移。OKK OKK-500M通过其场可变光学干涉仪（FOI）实现了这一点，该干涉仪通过先进的自适应光学控制施加到光刻器上的光量。此外，还提供了离子束沉积机，以最大限度地提高膜的均匀性。为方便操作，该工具配有大触摸屏界面，并结合了功能强大的30 KH处理器。PID温度控制消除了温度梯度问题，其高效的沉积工具减少了颗粒污染。该资产还支持非接触式计量系统，以便更快地启动和监测流程。最后，OKK-500M的多目标高通量扫描模型允许多种光掩模格式，焦点控制步进分辨率低于30nm。这使得它非常适合定位光掩模特征,并且在需要顺序打印时确保完美的可重复性。所有这些特点和更使OKK OKK-500M一个极其强大的光刻设备。它的多功能性、可靠性和成本效益以及高精度使其非常适合任何过程要求复杂的环境。它是当今现代纳米制造中使用的任何先进光刻技术的理想选择。