二手 OKK OKK-604M #9097634 待售

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OKK OKK-604M
已售出
製造商
OKK
模型
OKK-604M
ID: 9097634
优质的: 2006
Spin rinse dryer (SRD) 2006 vintage.
OKK OKK-604M是为广泛应用而设计的光阻设备。该系统具有高分辨率、高吞吐量和精确精度相结合的特点。事实上,这是一种高度自动化的曝光装置,利用可见和近红外激光源对光刻材料进行快速、精确的图样处理。OKK-604M允许在整个过程中出现各种暴露模式和强度。其坚固的光束输送单元由分段显微镜物镜和可调节的百叶窗组成,可在各级高度精确地控制曝光。该机器还能够快速、方便地切换激光参数,如波长、光斑大小和脉冲持续时间,以适应特定的应用。此外,由于其先进的温度控制机制,该工具可防止过热。OKK OKK-604M还具有内置晶圆转子,允许用户扩展其处理平面图样以及浮雕图样、弯曲图样和阶梯状图样的能力。这可以通过资产的大型机械设计和刚性结构实现稳定成像。其独特的软件应用程序还可以实现多级曝光,从接触大小到较大的投影,以及低占空比脉冲成形能力。OKK-604M具有先进的成像能力、高吞吐量和低孔径损耗,可提供卓越的速度和准确性。该模型还通过从平面到浮雕图桉的多种图桉技术提供了极好的灵活性和可重复性。简而言之,OKK OKK-604M是一种高效可靠的光刻设备,它结合了高分辨率的阵列、快速的吞吐量和精确的精度。其强大的光束传递系统、温度控制单元和自动晶圆透纳使得它成为广泛光刻应用的理想选择。
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