二手 OKK SRD #9135547 待售

OKK SRD
製造商
OKK
模型
SRD
ID: 9135547
晶圆大小: 6"
Spin dryers, 6".
OKK SRD是为半导体制造而设计的高性能光刻设备。是生产高分辨率基板的最佳解决方桉。光致抗蚀剂是光敏化合物,常用于半导体器件製造过程。该应用要求开发高性能、可靠的光刻胶系统。SRD提供了一整套可靠、可靠和可靠的光掩模系统,以满足各种苛刻的要求。它提供了一个精密的生产过程,具有高度的准确性、质量和可重复性。该系统基于聚乙烯酚的单组分化合物,用于配制光致抗蚀剂。光敏化合物由正负光敏层合成。这种光致抗蚀剂层被施加到基板上,然后以图样形式暴露在光线下。正光抗蚀剂用于创建正图样,而负光抗蚀剂则创建负图样。曝光后,光致抗蚀剂被开发出来,以揭示基板上的图样。OKK SRD提供了广泛的性能优势,包括高分辨率、卓越的灵敏度和出色的附着力。它还为光刻胶提供了防止磨损和物理损坏的保护。它还提供了增强的可重复性、均匀性、深度蚀刻和低残留光致抗蚀剂。这个单元极其可靠,在半导体工业中使用高度安全。该机还设计用于减少设置时间和改善光刻工作流程。借助自动曝光控制,该工具有助于提高光刻胶工艺的可重复性。此资产还包括一个快速固化过程,该过程可减少步骤时间并提高收益。SRD是产生极高精度和极精细分辨率光掩模的最佳选择。它还通过使用简单且成本效益高的单组分光刻胶制剂提供竞争经济优势。这种可靠的光致抗蚀剂模型是先进半导体器件制造的理想选择,并且由于需要生产越来越复杂的基材而日益普及。
还没有评论