二手 OKK SRD #9144785 待售

OKK SRD
製造商
OKK
模型
SRD
ID: 9144785
晶圆大小: 6"
Spin dryer, 6".
OKK SRD是一种调制型正光阻设备,用于在基板表面上成像和显影图样。光致抗蚀剂系统用于在基板上创建图样,用于各种应用,例如用于电子和光刻的印刷电路。SRD系统由光致抗蚀剂、光源和显影液三部分组成。光致抗蚀剂是应用于基板表面的光敏材料。当这种材料暴露于光源的光下时,光刻胶的某些区域会发生化学反应,使材料或溶于或不溶于液体显影剂溶液。这被称为光刻。OKK SRD单元的光源是调制光,由周期性增加和降低强度的光组成。通过改变光的强度,光致抗蚀剂的特定区域会受到影响,然后这些区域很容易用显影剂溶液去除。这台机器的优点是它比使用单级光源耗时少,成本也低。SRD工具中的开发解决方桉包含阴离子或阳离子显影剂。根据所使用的显影剂类型,光致抗蚀剂暴露在光线下的区域或多或少会变得可溶。这可以让使用者轻易地从基板表面移除不想要的光刻胶材料。总之,OKK SRD资产是一种创新的光阻模型。它允许用户使用调制光源和阴离子或阳离子显影剂溶液在基板上快速、经济高效地制作图样。因此,该设备被广泛用于生产微电子器件和光刻工艺。
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