二手 OPTORUN OTFC-1300 #293598129 待售

OPTORUN OTFC-1300是为晶片级或基板级制造应用而设计的高性能光阻设备。该系统由一个处理室、曝光光源以及控制和监控硬件组成。加工室全封闭，使气候均匀。它能够保持温度在20°C至25°C之间，湿度在20%至50%之间。该机还具有抗压能力，从而实现了高均匀性的抗压暴露。曝光光源以特定波长传递紫外线辐射，用于抗拒处理。它被配置为四元单元以获得最高精度。此外，特殊的特性，如可调曝光尺寸和位置精度提供了优秀的精度和结果均匀性从一个基板到另一个基板。控制和监控电子设备使用PC接口进行编程。这包括暴露参数、温度、湿度、压力和基板传输的设置。所有参数都可以实时监控，并根据需要进行调整。数据也可绘制在图表中以供审查和分析。OPTORUN 1300采用模块化结构设计,易于集成到现有工厂自动化中。此外,凭借其最先进的设计和高性能,它保证了以最小的停机时间和极好的结果一致性提高生产效率。在半导体器件的制造中，光刻机被证明可以减少工艺变化，提高质量。它还与各种工业标准工艺高度兼容，从常规的自旋涂层到化学气相沉积（CVD）、金属化和干蚀刻等先进技术。总体而言，OTFC 1300是任何需要精确、均匀、可重复的抗蚀剂曝光的半导体生产的绝佳选择。它能够帮助减少周期时间和提高产品产量,从而提高生产率和降低生产成本。