二手 OPTORUN OTFC-1300 #9215115 待售
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已售出
ID: 9215115
优质的: 2006
Optical thin film coater
Control: PLC
PC
SUS304 Vacuum chamber
Substrate dome size: D1130 mm
Pumping system:
Mechanical pump 4,000L /min + Mechanical booster pump
(2) Diffusion pumps, 22”
INFICON VGC023 Vacuum gage
Cold trap: POLYCOLD PFC670HC for meissner trap coil
EB Sources:
L: Loop hearth
R: 24-Points hearth
JEOL EB Source 180° deflection system
(2) JEBG-1C2UCHC
Power supply:
JEOL EB Source: JST-10F
Shutters:
(2) EB Sources
Ion source
Ion source:
OPTORUN OIS ONE RF Ion source system: 170 mm Diameter
Substrate fixture:
Variable speed dome: 10~50 RPM
Optical film thickness control system:
OPTORUN HOM2-R-VIS350A
Wavelength range: 350 nm to 1100 nm
Reflection
Crystal film thickness monitor:
INFICON XTC-2
6-Points rotary crystal sensor
Process gasses controller:
Controller: INFICON VCC500
Control valve: INFICON VDM005-X
2006 vintage.
OPTORUN OTFC-1300是一种光阻设备，设计用于经济高效、高精度生产光阻和其他薄膜涂层材料。该系统提供多种配置选项,允许用户根据各自的应用程序要求定制设备。它具有先进的涂层头设计，能够将均匀的薄膜涂层以优异的精度和可重复性传递到任何基板上。OPTORUN 1300包括一个集成的压力控制真空泵，确保了良好控制的涂层过程，同时也最大限度地减少了光敏材料的蒸发。该机还配备了双级加热器，可高效加热和冷却材料。该工具有一个内置计时器，可以精确控制应用时间，使用户能够轻松调整涂层厚度。OTFC 1300上的光致抗蚀剂工艺是完全自动化的，为用户提供了可靠和可重复的生产工艺。资产还具有多项综合安全功能，包括过流保护和紧急关机模式。此外，先进的视觉设备允许用户在固化前检查成品光刻胶层。1300利用先进的在线机器人系统,允许更大的灵活性和更快的周转时间。该单元还具有先进的触摸屏界面，使用户能够快速选择速度、压力和材料输送速率等参数。此外，这台机器还有一个网络连接，可以从计算机或智能设备远程控制和监测光刻胶过程。OTFC-1300设计可靠，易于使用，是批量生产光敏材料的理想解决方桉。该工具的自动化过程和可编程安全功能旨在帮助确保产品的一致性和准确性。由于其精确的控制、快速的设置和简单的维护要求,此资产还非常适合原型设计和小批量生产应用。
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