二手 OPTORUN OTFC-1300CGI #9408415 待售

OPTORUN OTFC-1300CGI是一种光阻设备，旨在以经济高效的方式提供高分辨率、可靠的光阻涂层工艺。它提供了多种涂层模式，使用户能够快速、轻松地以高均匀性和精确度涂覆基板。该系统还支持广泛的光刻胶材料，允许用户为其应用找到合适的光刻胶。该单元由激光扫描头和透镜和反射镜阵列组成，均由可调节的镀锌扫描机管理。这大大降低了成本、空间和功耗,同时仍提供相同的精度和准确性。该工具还允许在大面积上使用高度均匀、连续的涂层,并且能够以高达5 m/s的速度运行。资产采用三层抗蚀性涂层工艺，晶圆表面有直接抗蚀性图桉。通过使用三层抗蚀剂工艺，确保了复杂阵列的均匀性、准确性和可重复性。模型由检流计、激光器、照明器和成像设备组成。检流计将照明器和激光以特定的模式移动到晶圆表面上，以便生成所需的模式。水冷激光器是一种高功率二极管泵浦固态激光器。它包含一个自动调节激光功率和脉冲持续时间以达到最佳模式的自动功率控制系统。该装置配备了高质量的微透镜阵列，可减少进出基板平面的失真。这种微透镜阵列还有助于实现大面积的均匀性。最后，OTFC-1300CGI采用高精度力学和精密光学设计，提供卓越的薄膜均匀性和准确性。基于涂层工艺,提供了一种可选的运动控制器,以进一步提高其精度.本机能够实现高精度和可重复性的薄膜均匀性和可阵列复杂和大口罩。