二手 OPTORUN OTFC-1300DBI #293603058 待售

製造商
OPTORUN
模型
OTFC-1300DBI
ID: 293603058
优质的: 2006
Optical thin film coater EB Source 2006 vintage.
OPTORUN OTFC-1300DBI是一种精密的自动化光阻设备,用于各种商业、研究和工业应用。光致抗蚀剂是一种对光敏感的聚合物材料,可应用于基板表面,并暴露于光,以创建永久的图样或特征。OTFC-1300DBI是一种精密的自动化系统,设计用于在任何类型的基板上精确地制造复杂和精细的图样。OPTORUN OTFC-1300DBI通过提供可靠和可重复的结果,使用户能够执行高容量的光阻工作。该单元的设计目的是保持各项工作的一致准确性,并且可以使用多个流程轨迹进行自动化操作。当基板加载到OTFC-1300DBI中时,使用低辐射激光束扫描基板表面并定位基板图样的确切宽度、深度和位置。然后,激光束在X、Y和Z轴上移动到应用阶段,在该阶段,光致抗蚀剂被施加到基板上。然后将光致抗蚀剂暴露在紫外线下。这会引发一个光固化反应,使光致抗蚀剂硬化并根据所需的图样与底物精确对齐。此过程快速、可靠且可重复,能够创建复杂的模式和精细的细节。此外,机器还配备了可调节的光束发散,从而确保光刻胶材料在基板上均匀且一致地扩散。光刻胶制图过程完成后,基板可以移动到计量站,设备在那里测量完成的特征,以确保与项目规范的准确性和兼容性。现在可以根据客户要求对成品光刻胶进行检查。此外,OPTORUN OTFC-1300DBI的设计具有灵活性,能够处理不同类型的基板和光刻胶,从而增加了工艺可变管理。OTFC-1300DBI工具为任何基板阵列应用提供了可靠、可重复和经济高效的解决方桉。与传统的手动装配相比,此自动化过程可提供许多优点,包括提高准确性、加快吞吐量和减少报废。该资产专为易于使用而设计,可快速设置和操作,以最少的培训促进按需制造。
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