二手 OPTORUN OTFC-1300DBI #9358481 待售

OPTORUN OTFC-1300DBI是OPTORUN为各种电子元件生产中基板的精密图样开发的一种先进的先进光阻设备。适用于利用传统和先进的光刻工艺生产器件。该系统配备了专用的光头,支持从30 x 40 cm到50 x 100 cm的曝光面积。准分子激光器允许微调曝光，并允许单发自适应聚焦单元、6种光刻模式、可变剂量和高频扫描等各种特性。这种特性的组合使得复杂结构能够以经济高效的方式精确阵列。OTFC-1300DBI具有光学对准机和一组先进的线性步进级，能够达到很高的分辨率。利用连续相移法优化其光学结构，使衍射效应最小化。它还与包括玻璃、石英、半导体材料在内的各种基材兼容。该工具采用了最新的平版印刷技术，例如高分辨率可见（HRV）成像，这是一种先进的功能，可提供增强的成像能力，用于生产小型特征。该资产还具有模式上的模式（POP）对齐模型,该模型允许多层模式的精确对齐。POP设备能够管理高分辨率的要求，适用于高精度微电子结构的生产。OPTORUN OTFC-1300DBI与各种层和蚀刻工艺兼容，能够生产晶圆尺寸的薄片以及小零件。它的各种功能结合起来，为用户提供了一个高精度、可重复性和吞吐量的光刻系统。适用于生产多种电子设备，如传感器、集成电路、液晶、OLED和MEMS。