二手 OPTORUN OTFC-1550 #293816717 待售

OPTORUN OTFC-1550是一种精密的显影剂,专为光刻胶的处理而设计.OPTORUN OTFC 1550具有先进的光学硬件和自动化的工作流程,可提供高的吞吐量处理,并可实现优于层层的对准精度和微观对准精度。OTFC-1550具有激光二极管和高速成像检流计技术的精密光头。这允许快速扫描晶片和芯片，以便精确发展所需的微对齐配准水平。磁头还提供一系列的曝光分辨率以及控制电光抗蚀剂聚合物色调范围的能力。OTFC 1550还具有精密光学和气流管理系统,其设计目的是提高吞吐量和减少缺陷,而不是传统的光阻处理。专用喷嘴和真空系统有助于确保均匀的涂层厚度,并在晶片和芯片上产生一致的抗蚀性轮廓。精密光学设备还包括自动对准标记检查，通过验证涂层覆盖范围和阻挡轮廓，帮助提供额外的工艺控制层。OPTORUN OTFC-1550还提供了自动晶圆处理系统，旨在减少缺陷率和缩短周期时间。这个自动化的单元使用视觉机将晶片精确地放置在腔室中，可以精确地记录基板的主轴高度。视觉工具还能够检测表面污染，这有助于确保涂层在整个抗蚀剂应用过程中保持均匀。OPTORUN OTFC 1550还包括一个直观的操作员界面，显示可定制的实时过程信息、完整的错误记录功能以及智能诊断资产。这有助于创建一个强大的工具，确保光刻胶的快速和高效的发展，同时保证高产和优秀的蚀刻质量。