二手 OPTORUN OTFC-1800 #9263756 待售

OPTORUN OTFC-1800是一种下一代光阻处理设备,可为广泛的应用提供卓越的性能和灵活性。这种多功能一体系统使用户能够使用光刻技术在基板上轻松创建图样。该装置具有先进的基板处理技术、高度可靠的曝光源和高精度的抗蚀剂处理模块。OTFC-1800基板处理技术允许使用标准玻璃板或FOUP外壳处理长度不超过36英寸的基板。它允许精确控制基板放置在曝光阶段，并具有高精度、稳定和可重复的舞台运动。这样可以确保使用最小的曝光截面对齐伪像来实现精确的几何形状。OPTORUN OTFC-1800具有高度可靠和可靠的深紫外线曝光源,可提供精确和可重复的模式曝光。该源可以配置为覆盖全场或步进重复曝光,以及各种功率级别,以适应特定的基板和抵抗要求。它具有大的衍射光栅和广泛的动态曝光水平，为广泛的光刻应用。OTFC-1800还具有高度紧凑、高精度和低维护的抗蚀性处理模块。此模块使用VA抗性方法来确保高质量的抗性工艺结果,并且可以处理直径最大为4英寸的基板。它具有温度维持功能,可确保蚀刻过程中稳定的抗蚀性演变,并且可以配置为最大程度地提高单层或多层结构的工艺产量。总体而言,OPTORUN OTFC-1800是一款用途广泛且可靠的光刻胶加工机,可为各种应用提供卓越的性能和灵活性。它具有先进的基板处理技术、高度可靠的曝光源和低维护性处理模块,以确保高精度的模式生成。这使得它成为需要复杂几何形状和高吞吐量的光刻应用的理想选择。