二手 OPTORUN OTFC-1800DBI #9237129 待售
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ID: 9237129
Vacuum coating system
With IAD
Chamber size: 1,800 W x 1,910 H
Vacuum pump:
OPTORUN: (2) 28" DP
POLYCOLD PFC-1102 HC Chiller
RP: EDWARDS E2M275
MBP: EDWARDS EH4200
Evaporation:
EB: (2) JEOL JEBG-102UH0
Hearth (Left): φ336xφ264xH15
Hearth (Right): φ40xH17, 30 Points
Shatter: About φ300x2
JEOL BS-72050ICE Power supply
Ion source assist:
RF Ion source: OPTORUN OIS-Three 23 cm Type
RF Neutralizer
Power supply
Shatter: About φ450 size
Controller:
OPTORUN HOM2-R-VIS350A Optical monitor
Wavelength: 350 nm~1100 nm (Reflectance)
Monitor glass: φ142 Size
Monitor points: 80 Points
Crystal monitor: INFICON XTC/3
6-Points rotary censer
OPTORUN Auto-deposition control system
2015-2017 vintage.
OPTORUN OTFC-1800DBI是为高精度和可靠的光刻生产而设计的最先进的光刻设备。该系统配备了最新的功能和技术，以确保最终用户的卓越性能。它采用独特、自动化和简化的光刻工艺,以确保高精度和经济高效的光刻性能。该单元由一个高精度的分配单元和一个专门的光敏分层室组成，它们共同提供了极其精确的沉积和化学蚀刻工艺。分配装置能够分配具有精确± 20微米公差的光敏材料，这对于一致、高质量的光敏特性是必需的。光致抗蚀剂分层室还在整个基板上提供均匀准确的层厚度，以确保一致的图样。OTFC-1800DBI具有多种综合技术特点，包括先进的光学机器，其设计目的是确保光刻过程中的光输出得到准确的监控。该工具还包括一个专门的、计算机化的配置文件匹配资产，允许用户快速设置、调整和监控光刻胶层。自动化交付模式还配备了扩展的定制能力，使用户可以方便地使设备适应不同的基板和层厚度要求。最后，OPTORUN OTFC-1800DBI配备了先进的输出控制系统，可以让用户快速调整平版印刷过程中特定部分的输出水平，并监控整体性能。该装置还包括多阵列加热器机和编程温度控制工具，使最终用户能够精确控制光刻胶的特性。总体而言,OTFC-1800DBI为用户提供了一种高度精确、自动化和可靠的光刻胶资产,它充分利用了最新的技术进步。该模型具有广泛的特性和功能,为用户提供出色的平版印刷生产性能。
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