二手 OPTORUN OTFG-1000C #9359460 待售

OPTORUN OTFG-1000C是一种设计用于各种工艺和应用的高精度光阻设备。该设备的先进设计和功能为用户提供了可靠且经济高效的光刻解决方桉,具有高度的准确性和可重复性。OTFG-1000C具有可容纳1,000毫米x 1,000毫米镜框的大视野。框架安装在线性坐标轴平台上,为框架方向和零件放置提供精确的对齐和定位。此外，该单元还具有用于精确水平映射的综合视觉指导，以及用于在主题之间快速切换的零工具交换选项。OPTORUN OTFG-1000C先进的光学系统通过广泛的薄膜、抗蚀剂、显影剂选项和遮罩材料确保最佳的光掩模性能。该装置的光辐射源配备了强大的电动真空机，可防止微粒污染照明路径，从而确保最佳图像质量。该工具还包含针对不同抗蚀剂类型的多种成像模式。此外,OTFG-1000C允许用户根据所需的结果从各种冷热烘烤设置中进行选择。热烘烤是用来增加抗粘性强度和提高产生的图像的保质期，而冷烘烤是柔性基材或半刚性基材软烘烤应用的理想选择。集成运动控制可确保定位精度± 2 μ m左右,静止零对准精度为1 μ m,精确辐射曝光小于十分之一微米。该装置可自动补偿薄膜或基板厚度的变化，并提供精确的照明和时间控制，以实现一致的光阻渲染。总体而言,OPTORUN OTFG-1000C是一种先进的光刻工艺设备,可提供各种应用程序的精确度和可用性。它对微小材料厚度的高公差以及集成的成像和运动控制技术使其成为各种行业中光刻工艺的理想选择。