二手 ORION 90T #9176341 待售

ORION 90T是一种用于薄膜微电子器件制造的通用、可靠的光刻设备.该系统专为高通量光刻工艺而设计。90T可将处理时间减少50%,从而确保直通率和过程可重复性。此单元结合了改进的硬件、高级软件和高级自动化技术,以提供更高的效率。ORION 90T机器由四个主要组件组成-操作控制台、光源、光学对准器和索引器。操作控制台具有直观的图形用户界面（GUI）,可简化工具的设置和控制。光源是一种激光二极管，提供精确的紫外线辐照度来暴露光刻胶层。光学对准器配有一整套光掩模，作为模板，以确保图样在基板上的准确定位。该索引器是一种微运动索引器，精确定位光源和光学对准器之间的基板。90T资产是一种全自动光刻模型，具有先进的控制和通信软件，旨在减少处理时间和提高吞吐量。为了保持过程的可重复性和准确性，它能够使用光学对准器的反馈来计算每个图桉化层的精确曝光时间。此外,它的软件还可用于执行各种过程控制任务,如端点检测和可重复性分析。ORION 90T设备是一种功能强大、用途广泛的微电子器件制造解决方桉.它以最短的设置时间来保证直通率、可重复性和高吞吐量。其可靠的操作也确保了最小误差和最大精度。综合的一组功能和先进的控制允许简单、安全和可重现的设备处理。