二手 PARKER MSX-102C #9247058 待售

PARKER MSX-102C是将高分辨率成像与高精度、可重复的工艺相结合的第三代光刻设备。该系统采用计算机控制、气体驱动、自动曝光单元，其中包括三个主要组件----光学单元、热控制单元和计算机化控制。光学单元由准分子激光光源、光束成形光学器件和包括宽带光谱成像过程和二元成像过程的双成像机组成。光学单元支持光学和热控制功能,能够对高分辨率图样进行精确和可重复的成像。光源提供了很宽的波长范围，以匹配不同薄膜厚度的光刻胶工艺。自动定心功能有助于在整个模式中提供均匀的辐照度,从而在一次曝光中实现高分辨率模式的一致成像,从而进一步加强了光照过程。热控制单元集成到光学单元中,并确保在制图过程中保持温度控制。热控制单元在单元内保持精确温度，以保护薄膜，从而增加过程稳定性，并产生精确的图样。控制器还包含一个局部氮气冷气室，以确保在抗蚀剂制样过程中的温度稳定性。该工具的计算机化控制用于管理和控制成像过程的每个步骤。计算机提供了一系列用户友好的选项，用于编程和控制整个光刻过程，包括数据输入、曝光周期、数值监控和对齐控制。它还具有关于制图精度和工艺鲁棒性的实时反馈，为开发和控制先进的光刻胶制图工艺提供了完整和自动化的资产。MSX-102C光刻胶模型是制造商寻求提高产量、最大吞吐量和提高工艺可靠性的理想解决方桉。设备的高分辨率成像能力使其非常适合先进的微加工工艺，并具有广泛的可编程功能，以确保完整的工艺控制。所有这些结合在一起，使PARKER MSX-102C光刻系统成为制造商寻求最大限度地提高其工艺的准确性和可重复性的宝贵工具。