二手 PHILIPS / FEI Magellan 400L #293597808 待售
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ID: 293597808
优质的: 2012
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(10) ACC Parts
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VCD Detector
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Beam deceleration: 50 V - 30 kV
ELSTAR Electron gun: 0.8 nm at 15 kV / 0.9 nm at 1 kV
2012 vintage.
PHILIPS/FEI麦哲伦400L是专为微电子器件的高分辨率图样设计的光阻设备。它是一个先进、用户友好的系统，能够在各种基板上产生高保真模式。该装置采用4K超高分辨率相机，能够精确地在晶圆和掩模等表面上对电子束抗性进行阵列设计。电子束拍摄各个像素点，然后将它们积分到一个定义的大小和形状。精确的基于阶段的投影对齐曝光，以确保准确实现所需的覆盖区域。FEI麦哲伦400L机集成了一系列先进的硬件和软件功能，如可确定最佳光束电流、曝光时间和分辨率设置的自动校准工具，以获得最佳模式分辨率。它还配备了一个精密的软件资产，用于制图、UV光刻和电子束光刻。该模型的控制面板可方便地访问各种参数,包括光束速度、聚焦范围、加速度和减速、聚焦位置、向前和反向倾斜以及矢量线性。它的高分辨率也使得它适用于升空和PR涂层等反向过程。该设备还包含许多安全功能,包括可调节的安全梁和紧急停止功能。其坚固可靠的结构使用户能够将其保持静止并保持稳定的平台。该系统的振动稳定性、分辨率、低颗粒污染和无影图样使其成为寻求可靠、精确的抗震装置的人们的一个有吸引力的选择。
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