二手 PICOTRACK PCT-100RRE #9303107 待售

製造商
PICOTRACK
模型
PCT-100RRE
ID: 9303107
Spin coater system.
PICOTRACK PCT-100RRE是一种高度先进的光阻处理设备,专为清洁、一致和可重复的半导体器件制造而设计。它是由生产先进制造技术的领导者PICOTRACK Incorporated创建的。PCT-100RRE采用1 μ m缝面罩、0.01 μ m轮廓分辨率和± 2 μ m的工件定位精度来实现摄影精度。狭缝遮罩是一种被加载到系统上的遮罩,用于控制光刻胶材料的曝光。它是在各种半导体蚀刻应用中获得始终如一的优异成绩的关键。PICOTRACK PCT-100RRE的特点是具有高真空抗性涂层室,旨在保持精确的清洁水平,以及一个热防粘连装置,以提高操作性能。该腔室有三个区域,用于创建不同阶段的应用光致抗蚀剂。紫外线、红外和恒流曝光系统提供统一和准确的模式注册。PCT-100RRE的其他特点包括大孔径、双束和高分辨率扫描仪、车载电子束特征通知、实时扫描仪维护监控。大孔径允许快速的吞吐量和精确的阵列,而双光束特征增加扫描面积,甚至包括复杂的结构。板载功能通知监视某些参数,并在操作过程中发送维护或更换组件的警报。实时扫描仪维护监控提高了光刻胶加工精度。它使用激光传感器来监测温度、压力和频率,这些传感器检测光刻胶流动或其他关键参数的不规则性。PICOTRACK PCT-100RRE的结果是一台高效可靠的光刻机,为用户提供更高的控制级别和更多的功能。该工具能够处理各种光敏材料,使其适合各种半导体制造工艺。凭借PCT-100RRE, PICOTRACK Incorporated为业界提供了强大而可靠的光阻资产。
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