二手 POLYTEKNIK Cryofox Explorer 600 #9189760 待售
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ID: 9189760
晶圆大小: 8"
优质的: 2007
Thin film coating system, 8"
(4) Pockets
Wafer load, 6"
E-beam source
No magnetrons
No water cooled substrate
Turbo pump
Roughening pump
Technical specifications:
Vacuum system, standard: TMP1: 240 l/s, TMP2: 400 l/s, RP: 35 m³/h dry pump
Base pressure: 1E^-7 mbar range
Electric supply: 3 x 400 V, 7 kVA peak
Cooling water supply: 18°C-25°C, max 6 kW cooling capacity peak
Cooling water flow: 18 L/min, 5 bar max pressure difference
2007 vintage.
POLYTEKNIK Cryofox Explorer 600是一款光刻设备，旨在实现高质量的成像和精密蚀刻。该系统采用独特的冷蚀刻技术，降低了光刻胶的导热系数，从而在蚀刻过程中实现了更高的精度。此外,Explorer 600还提供了一个温度可控的烘烤站,能够达到130°C的温度,有利于在一系列任务中获得一致的结果。Explorer 600配备简洁、符合人体工程学设计的触摸屏界面和启用代码的配置文件自定义功能,允许用户轻松访问设备的各种参数。这台光刻机采用1.8 kW高功率CO2激光器，提供了比同类抗蚀剂系统更高质量的成像分辨率。该激光器能够在高度精确的线宽~ 5 µm的基础上制作多达6英寸的图样，有利于包装和原型设计等应用。该激光器还具有可调的强度参数,便于大批量生产的快速周转时间.Explorer 600光抗蚀剂工具还具有五种不同类型的加工配方和一系列基材载体。利用通用的压力密封，机器可以处理任何常见的设备基板材料，尺寸不超过6英寸。加工室中增强的安全控制使操作员能够在高度受控的环境中执行诸如晶圆安装和对准等处理任务。Explorer 600非常适合那些需要平衡的工艺参数、高分辨率成像分辨率以及能够对一系列基板进行阵列设计的产品。设计考虑到自动化和可靠性，光刻资产确保可重复的结果和全面的性能数据。耐用的结构和较低的维护要求使Explorer 600成为用户希望达到最高效率和高质量结果的宝贵工具。
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