二手 PRAXAIR CoArc 9910 #293591595 待售

PRAXAIR CoArc 9910光刻设备是一种用于制造广泛行业的微电子器件的最先进的工具。它是一个利用光刻技术的全尺寸自动化系统，这是一个将图样转移到基板表面的过程。光刻是微机械的基石，是芯片、集成电路等电子设备的小型化。CoArc 9910利用高分辨率光学投影单元，在基板上暴露出均匀的感光材料层，通常被称为光致抗蚀剂。PRAXAIR CoArc 9910的基板尺寸可达914毫米x 914毫米,为生产比市场上其他系统更大的尺寸打开了大门。这台光刻机还配备了一个自动装载机，可容纳多达20个长度从200毫米到880毫米不等的基材盒式磁带，从而缩短了正在进行的生产所需的时间。CoArc 9910能够处理从365 nm到113 nm的光刻波长，允许来自一系列行业的应用。它的5通道自旋涂层允许在多个基板上同时进行分离过程，以及独立的泵和主要功能。PRAXAIR CoArc 9910还包含一个可选的晶片分选器,可处理多达26个、8英寸或25个、12英寸的各种尺寸的基板,并可选择为总共39个晶片安装第三个传输臂。总体而言,CoArc 9910光阻工具的功能为用户提供了超过其行业同行的功能。其顶端精确光学投影能力使其成为需要基板上高分辨率图样的行业的理想选择。从医疗器械行业到半导体行业，等等，PRAXAIR CoArc 9910是为适应一系列应用而打造的，准备协助企业进行微加工项目。