二手 PVA Delta 8 #293623207 待售
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ID: 293623207
优质的: 2018
Conformal coating machine
Hose: SSMPC / TEFLON
Flux material: Rosin-based
(4) Motion axes: X, Y, Z (Top), and Z (Bottom)
(4) Controller axes
Spare valves
Controller: 4000
X-Stroke: 621 mm
Ballscrew lead: 10mm/rev
Y-Stroke: 595 mm
Ballscrew lead: 10mm/rev
(2) Z-Strokes: 90 mm
Ballscrew lead: 1mm/rev
Heads 1 and 2:
Top and bottom valve
Z-Slide
FCS300-F Valve
Atom air range: 0-15 PSI
SMC
KALREZ O-Ring
Liner pressure vessel (2 Gal)
Air requirement: 80-100 PSI
Dry
CFM: <10
KALREZ O-Ring
Guarding:
Interlock doors
Bellows: Metal side gap panel
Light tower
Process control:
Low level
PC
OIT Portal
White light
Ventilation:
Minimum CFM: 600
PVA Blower
Exhaust switch
Flange diameter, 6"
Blower exit diameter, 6"
Upper side panel
Syringe supply:
(2) 30cc Air caps 0-60 PSI regulator with digital pressure switches
Power supply: 120, 208-230 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 15 A
2018 vintage.
PVA Delta 8是一种光刻设备，用于成像半导体器件和其他微电子结构的光刻工艺。这种光致抗蚀剂系统由一层称为聚乙烯醇（PVA）的聚合物材料组成，它在器件和光致抗蚀剂薄膜之间起掩蔽剂的作用。Delta 8光致抗蚀剂单元对紫外线具有极高的灵敏度，能够分辨出低至8微米的特征尺寸。它对于需要极小特征尺寸和高分辨率图像的设备和微电子结构特别有用。PVA Delta 8光致抗蚀剂机由4个部件组成：一种光致抗蚀剂、一种碱性涂层材料、一种耐蚀刻材料和一种聚合物薄膜。光致抗蚀剂层采用紫外线图样，作为成像层。它有选择地暴露一个阵列区域，该区域被开发用来创建所需特征的图像。基底涂层是作为光刻层载体的材料，为确保成像过程的准确性提供所需的稳定性。耐蚀刻材料可以保护蚀刻过程中的特征,并且可以设计为覆盖多种材料。最后，聚合物膜是一个柔性层密封成像过程和保护结构。Delta 8光刻工具适用于数字微镜设备（DMD）和其他需要极高分辨率的设备。该资产可用于显示器、微流体传感器和其他MEMS等设备。PVA Delta 8光刻胶模型是微电子过程中必不可少的工具.它的高灵敏度和分辨率能够对极小的设备和结构进行成像，并具有精确和持久的图像。这种设备可用于各种工艺和材料，确保满足最严格的要求。
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