二手 PVA Delta 8 #293829759 待售

PVA Delta 8是为半导体工业中使用的先进光刻工艺而设计的光刻系统。它是一种负色调的光刻胶，可实现优越的图样形成、不透明度、边缘分辨率和高质量的线宽控制。Delta 8是一种三组分溶液，由可聚合乙烯基单体、光酸发生器和溶解在抗蚀剂中的光不溶性染料组成。光酸发生器在暴露于紫外线光源时，产生一种强酸，能够引发阳离子聚合。这种酸负责抗蚀层内特定区域的蚀刻，而抗蚀剂的剩余区域则保持完整。不溶性染料是负责光吸收能力的成分。这是通过它吸收紫外线的能力，以及在各种其他较长波长范围内的光来完成的。第三种成分，聚乙烯醇，既作为结合元素，又作为保护层，因为它倾向于将染料分子保留在其分子结构内。这种分子结构也增加了聚乙烯醇暴露部分与未暴露部分的溶解速率之比。这三个元件在抗蚀剂溶剂内的组合使得PVA Delta 8系统能提供卓越的分辨率、边缘轮廓和优越的线宽控制。还表现出优良的加工特性、附着力、低溶解度和底切比。由于其复杂性，Delta 8非常适合于先进的器件制造工艺，包括氮化的半导体器件，也经常用于光掩模、MEMS和指纹元件制造。它也被用于光电和平板显示器制造的高精尖领域。