二手 RITE TRACK 8800 #9093246 待售

RITE TRACK 8800是由RITE TRACK, Inc.开发和设计的一种光刻胶设备，其目的是在基板上沉积薄层的光固化聚合物，以产生所需的厚度或轮廓。8800能够在基板上沉积单层和多层光致抗蚀剂。RITE TRACK 8800使用热固化工艺以沉积其光刻胶层。这一过程的工作原理是在真空环境中将基板（如ITO或SiN层）加热至高达350 °C的温度。然后将加热的基板暴露于紫外线光源的光照下。这种紫外线光源使光致抗蚀剂分子聚合，在底物表面形成一层薄薄的聚合物。然后将聚合物层热固化，完成程序。热固化过程可以微调，达到不同类型的抗蚀剂型材。这些抗蚀性轮廓包括薄而均匀的层,以及更复杂的轮廓,如阶梯状或渐变层。这使用户能够获得各种各样的最终结果。8800还为包括微电子、MEMS和微流体组件在内的各种应用提供了经济高效的解决方桉。它还能处理硅、玻璃、塑料等尺寸达4英寸的基板。RITE TRACK 8800是一个非常通用的系统,可以针对各种流程进行定制。8800还具有自动防腐剂剥离装置,用户可以轻松清除多余的防腐剂并获得完美的效果。它还可以与其他系统集成，为光刻胶处理提供全面的端到端解决方桉。此外，RITE TRACK 8800还有一个串联监视器，可以不断监控机器，以最大限度地提高沉积层的质量。总体而言，8800是一种高效、经济高效的热固化光致抗蚀剂沉积解决方桉。此工具提供了多层和轮廓的便利和灵活性,以及用户友好的自动剥离资产。RITE TRACK 8800的串联监视器和与其他系统的兼容性使其成为各种要求苛刻的光刻工艺的理想选择。