二手 RITE TRACK SVG 88 #293592399 待售

RITE TRACK SVG 88是一款设计用于微电子工业的光刻设备。它是一个单步工具，用于可靠生产极小的互连线路，最小宽度为0.3 μ米（微米），在微调的生产速度下可达到高精度。该系统的工作原理是通过显微光刻图样过程将抗蚀剂材料暴露在紫外线下。紫外线被吸收到抗蚀剂中，激活在蚀刻图样中使抗蚀剂硬化的反应性位点。这种处理方法产生了高度精确的层，可以很容易地集成到电路中。该单元分为两个阶段：光刻和蚀刻。在光刻中，使用光掩模来定义抗蚀剂中所需的图桉。面膜是一块薄薄的玻璃，涂有光敏材料。光敏材料随后暴露在紫外线下，紫外线照射材料，使其激活并导致所需的图样发展。然后将在抗蚀剂上创建的图样转移到基材上。在蚀刻过程中，光致抗蚀剂图样随后通过使用反应性气体或化学物质转移到基材上。根据基材中使用的材料，可以使用不同的蚀刻方法。例如，反应性离子蚀刻（RIE）可以用于介电材料，离子束蚀刻用于金属薄膜，等离子体蚀刻用于有机物和电阻性薄膜。由于RITE TRACK 88是一个单步过程，因此光刻胶与蚀刻阶段同时完成，以产生非常小尺寸的高度精确的互连线。SVG88机器的使用为用户提供了几个优点，因为它提供了极高的准确性、更高效、更经济高效的过程和更好的灵活性。此外,它还允许生产尺寸较小的管线和元件,这些管线和元件可用于创建更复杂的设计。这种工具常用于印刷电路板、半导体器件和MEM的生产，并在现代电子制造业中日益普及，因为它便于高效生产高度精确的元件。