二手 RITE TRACK SVG 8826 / 8836 #9209021 待售

RITE TRACK SVG 8826/8836是为过程光刻中的应用而设计的光刻设备。光刻是一种用于制造集成电路和纳米级光掩模的工艺。该装置由曝光单元、光掩模、铝制口罩支架和定位台组成。配备超亮电子束照明的SVG 8826/8836曝光单元，便于在亚微米范围内持续曝光的高分辨率图像。这使得高密度工艺光掩模和精确的微电子制造成为可能。它还有一个内置的光学对准系统，可以快速精确地定位图像。RITE TRACK SVG 8826/8836的光掩模是由对紫外线和电子束照射敏感的硅接地玻璃製成，允许高解析度的影像和对准。铝制口罩支架设计用于安全存储和运输光口罩。支架还配备了最小化机械应力的特性，确保掩模表面光滑平整，以更好的光掩模特征定义。最后，定位阶段和X-Y扫描台能够快速、精确地对准和聚焦，以促进微电子元件的一致和准确的制造。扫描台由精密球形螺钉驱动，而闭环控制单元则向扫描台提供反馈。此设计可确保精确的重新定位,并使光掩模与曝光单元正确对齐。总体而言,SVG 8826/8836是一台精确可靠的光刻机床,在低至中端曝光时提供高精度分辨率图像。它具有快速准确的位置精度和可靠的曝光装置，是任何微电子制造工艺的理想选择。