二手 ROBERT BÜRKLE GMBH RCF-12M1800 #9353284 待售
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ROBERT BÜRKLE GMBH RCF-12M1800是一种光刻涂层和显影设备,设计用于半导体制造的最大效率、质量和成本效益。该系统采用高度精确和温度控制的自旋涂层工艺,在晶片表面上均匀准确地涂抹光刻胶。该装置采用耐磨工艺,以确保光致抗蚀剂具有尽可能高的附着力和均匀性。RCF-12M1800光刻机结合了静态和动态液体分散技术,在浸泡和自旋涂层应用中提供了均匀的光刻分布。该工具提供单碗喷涂溶液,消除滴水和/或堵塞问题,并减少手动清洁。这一先进的资产还具有可调喷嘴,允许应用光刻精密和一致的精度。此外,ROBERT BÜRKLE GMBH RCF-12M1800光刻胶模型具有高度可配置的模块化平台,可提供满足客户应用要求的最佳灵活性。集成软件大大降低了运营成本,提高了生产效率并提高了质量保证。该设备采用一系列传感器来精确监控开发过程。它的高级编程接口(Advanced Programming Interface, API)允许用户根据需要修改现有程序或创建自己的专用程序,从而确保尽可能高的产量和质量结果。最后,系统配备了两个独立的输送容器,允许同时应用光致抗蚀剂和开发晶片。它提供了用户友好的液晶触摸屏,方便现场访问。由于具有通过先进的热管理装置控制温度的能力,该机器能够满足最苛刻的光刻加工要求。RCF-12M1800是半导体、电子和光学等行业的理想解决方桉。
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