二手 S CUBED / S3 TX535C #9179981 待售

S CUBED/S3 TX535C是一种最先进的光刻设备,专为各种光刻工艺而设计。它由一个强大的短波长辐射源、一个用于基板定位的晶片级和一个用于光刻胶的自动处理系统组成。该装置能够提供20nm的基板分辨率和1.0微米的特征尺寸。S3 TX535C中使用的辐射源是超短波长准分子激光器，允许200纳米至350纳米的波长范围。激光可以产生长达460纳秒的脉冲，产生小至20纳米的空间分辨率。另外，激光器能够控制每个脉冲的波形，从而能够很好地控制激光束的强度分布。S CUBED TX535C晶片级采用XYZ电动调节机和温度稳定工具，可实现准确可靠的基板定位。它还具有减振资产，以确保基板在光刻过程中保持稳定，并且可以容纳直径达8英寸的基板。TX535C的自动控制处理模型有助于使过程如此高效和一致。它通过自动机械臂加载、对准和卸载光刻胶,以确保准确性并减少人为错误。该设备还被设计为跟踪其每个部件的性能，确保它们始终产生所需的结果。总之，S CUBED/S3 TX535C是一种先进的光致抗蚀剂系统，旨在提供低至20纳米分辨率的一致结果。它结合了短波长准分子激光器、先进的晶片级和自动化的处理单元，使其成为可靠的光刻过程的强大工具。