二手 SANYU SC-701AT #9137340 待售

SANYU SC-701AT
製造商
SANYU
模型
SC-701AT
ID: 9137340
晶圆大小: 6"
Carbon coaters,6".
SANYU SC-701AT是一种精密光刻工艺光刻设备.该系统能够在目标基板(如玻璃和半导体材料)上传递高度精确的图像。19.HPT划线工艺使用UV激光器在不影响底层基板的情况下将图样划入光致抗蚀层。高精度对准和聚焦光学器件允许精确放置划线图样和精确配准,以确保0.5 µm或更高的精确打印分辨率。SC-701AT具有丰富的功能,可最大限度地提高成像和制造精度。全自动闭环控制单元考虑到基板的材料特性和参数,如划线图样的速度、分辨率和图样。这台先进的机器还包括一个自动对焦工具,以确保精确的划线深度,针对特定材料类型和波形模式的可编程设置,远程控制能力和可选的脱机控制模式进行编程。高级软件包控制设置以提高流程精度。广泛的图形功能提供简单直观的编程。该软件结合了可重复性和精确度选项,可以确保光敏处理的所有元素都是一致的,并符合所有必要的规格。SANYU SC-701AT还设计了高效、准确的设备,提高了工艺速率,同时降低了能耗。先进的划线引擎可提高工作效率,而先进的激光资产可确保成像质量。此外,SC-701AT的集成冷却模型有助于保持设备处于最佳温度,减少热漂移和精确控制光学器件。此外,强大的控制软件可确保可重复的准确性,支持并缩短成像和制造过程的编程时间。SANYU SC-701AT是一个非常可靠的精确光刻系统,提供高质量的成像和提高生产力.先进的成像和制造设置、高精度对准光学器件和自动控制单元共同提供精确的光刻工艺和高精度的结果。
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