二手 SANYU WB #187221 待售

SANYU WB是设计用于制造半导体器件的光刻设备。该系统提供了一种将一层或多层光致抗蚀剂制图到所选基板上的方法,然后是高质量的制图步骤。WB单元是一种喷涂或旋转的光致抗蚀剂机器，其设计使用户能够快速和轻松地用光致抗蚀剂薄膜覆盖基板。然后，这种光致抗蚀剂会受到紫外线辐射，以使薄膜的特定区域变硬，从而形成所需的图桉。该工具由几个组件组成，这些组件协同工作，在基板上产生高质量的光刻胶图桉。这包括喷涂计量单元、成像单元和固化单元。测光装置将光致抗蚀剂分配到基板上，然后使用最多四个不同的紫外线掩模对其成像。将所需的图样成像后,将使用固化装置将其固化到位。与传统的光刻方法相比,SANYU WB资产具有多种优势.例如，它的喷涂机理使得它非常适合像旋转涂层这样的湿应用，因为光致抗蚀剂可以均匀地分散在整个基板上。此外,它的四个蒙版在设计复杂形状时具有更大的灵活性。最后，它的固化单元确保光刻胶图样被固化到最高标准--允许芯片增产特性。总体而言，WB模型是一个理想的工具，用于快速阵列光刻胶在基板上用于制造半导体器件。它提供了快速、简单的涂层和广泛的图案设计功能,以及高质量的固化,使其成为半导体设计师的宝贵资产。