二手 SCHAAF TECHNOLOGIES GMBH 320 #9212900 待售

SCHAAF TECHNOLOGIES GMBH 320是一种光刻设备，能够在半导体制造过程中将陶瓷膜沉积到基板上。该系统采用称为"化学气相沉积"（CVD）的半导体制造方法，将一层薄薄的陶瓷沉积在所需的基板上。沉积是在加热的环境中进行的，在这种环境中，硅烷、氧气和蒸气形式的氮等反应物被注入室内。反应物在基板表面分解，直接在基板上形成电阻陶瓷涂层。这种高度受控的沉积工艺为各种半导体应用提供了理想的薄膜。合成的陶瓷涂层可用于电子元件的耐化学性、隔离和钝化，或用作生物医学有机结构的保护性涂层。该层具有很高的适应性，但对磨损和反复暴露在高温下具有很高的抵抗力。320可用于高质量薄膜沉积的批量和串联工艺。该单元设计为与硅烷、氧气、氮气等常用前体兼容，允许将沉积特性定制到特定应用。可以精确修改压力、温度、反应物浓度等控制参数，以优化结果。该机器采用逐步沉积工艺，将反应物以增量方式引入受控环境，从而实现一致的薄膜沉积。最后，SCHAAF TECHNOLOGIES GMBH 320是一种高度安全可靠的工具，所有组件都封闭在保护性外壳内。资产包括用于保护腔室的内置冷却模型,以及随时监控设备性能的传感器阵列。整个系统设计得尽可能紧凑，这使得它成为任何受大小和空间要求限制的环境的理想解决方桉。