二手 SCL CD 200A #9352010 待售

SCL CD 200A是为半导体工业中的光刻工艺而设计的通用光刻设备。它由液体光致抗蚀剂、负面罩、光源和工艺室组成。光致抗蚀剂是一种光敏材料，它被施加到晶圆上，并暴露在带有负面罩的光源下。遮罩由一个透明和不透明的区域组成，这些区域允许一定数量的光通过光刻胶。当光致抗蚀剂暴露于光时，它会发生化学变化，根据光的波长，它要么交联，要么降解。这样就可以在晶圆上对特征进行高度精确的图样化。SCL CD 200 A系统具有控制光刻工艺的先进工艺室.它可以控制温度、压力、湿度、大气等各种参数。这允许一个高度受控的光刻过程，提供准确和可重复的结果。此外,该设备还可用于干法和湿法加工.该机利用液浸技术进行湿处理，实现了更高的分辨率和更好的工艺控制。该工具能够处理多种基材，包括光掩模、拓扑玻璃、石英和石英玻璃。设计为连续单轨和双轨生产运行。它使用专有的均匀光源，以确保在晶片上的曝光一致。该资产既可用于正负光刻胶，也可处理从深紫外线到红外线的各种波长。CD 200A模型提供了高度的过程和性能一致性。它提供了改进的分辨率和增强的过程控制。它是一种全自动设备，可用于大批量生产过程。它易于使用和维护,非常适合高精度、经济高效的光刻工艺。