二手 SCL CD 400 #9102037 待售

SCL CD 400是一种光刻设备,旨在为各种应用（如微芯片、微机电系统或其他光刻过程）产生极高分辨率的图样化特性。该系统包括两个主要组件：光源和曝光板.光源设计为提供300-400nm的波长范围，以便在曝光过程中在光刻胶层上产生最佳对比度和特征。曝光板表面有一个精确的栅格图桉，当光源聚焦在板上时允许精确的图桉定位。CD 400的光学元件由聚焦透镜组成，在曝光板表面上产生极小的光斑尺寸，用于精确的图样曝光。镜头设计成将深紫外线（DUV）镜头聚焦在放置在抵抗板上的均匀小光束中。根据光刻胶所需的照明水平调整曝光光。在典型的曝光过程中，对光源施加电压波形以限制其强度。一旦光源调整，基板被放入SCL CD 400的真空室。将曝光板插入腔室，然后将光致抗蚀剂板放置在板上。最后，在暴露前，一种惰性气体，如二氧化碳，被泵入腔室，这种气体扩散光，消除任何光学像差。曝光后，光致抗蚀剂可以在底物从真空室中除去后在化学溶液中显影。经过开发过程，光刻胶层会有由CD 400的光源所创造出的精确定义的特徵。SCL CD 400光刻装置是为高分辨率和操作简单而设计的。机器的光源和精确的曝光板创造了一个高对比度的光刻层，可以精密开发。充满真空室的惰性气体有助于消除光学像差和散射光，使CD 400能够创造出与传统光刻方法相媲美的精细特征。