二手 SCL CD 500 AR 42 #9102796 待售
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SCL CD 500 AR 42是一种设计用于半导体器件制造工艺的电子束光刻设备。其设计目的是在用于生产集成电路的介电材料和导电材料上创建纳米级特征和关键尺寸。该系统包括多电子束光刻源、强大的测量能力和软件控制的光刻胶管理单元。CD 500 AR 42的电子束源具有支持高加速度的共振镜头内机,提供了先进光刻图样所需的高分辨率图像。利用其广泛的光束电流密度,可以调整工作条件以优化光刻胶和基材的曝光。此工具强大的计量功能包括测量动态焦点、线/跨度跟踪、标记上的临界尺寸(CD)和轮廓轮廓的能力。为了便于集成到自动化生产环境中,SCL CD 500 AR 42配备了应用程序编程接口(API),并具有与各种通信协议的兼容性。CD 500 AR 42光刻胶管理资产为设备制造中使用的各种光刻胶提供全面支持。该模型包括一个高精度的自动化设备,用于控制光刻胶预处理和曝光后烘烤的多个方面。它旨在保持曝光和烘烤周期之间的最佳窗口,确保可靠和可重复的光刻胶开发。SCL CD 500 AR 42是任何半导体生产设施的理想选择。该系统具有坚固的设计和高性能,为生产复杂的纳米级特性提供了极其可靠的解决方桉。此外,内置的计量系统可以快速准确地控制曝光过程,而其光刻胶管理部门为曝光前和曝光后的应用提供了一个自动化、可靠的解决方桉。
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