二手 SCL CD 500 #293661305 待售

SCL CD 500是一种集成光刻设备，设计用于执行平板显示器（FPD）和半导体器件的抗蚀涂层和图案设计等关键生产应用。它结合了先进的自旋涂层和软烘烤技术以及精确的晶圆调平和关键的清洁，提供了高度均匀的抗蚀性涂层。CD 500装有300 mm x 300 mm的腔室，支援350 mm的製程，晶圆尺寸可达8英寸。它采用高精度旋转头涂层和烘烤高达4,500 rpm,可容纳静态晶片以及平面外倾斜度高达2°的晶片。该系统的特点是集成载波与附件气泡设置技术，使光刻胶的快速溶解与最小的碎片。这样可以使涂层更加精确和均匀。该单元还兼容电子束、液晶抗蚀剂、固体型等标准和先进的光刻材料。对于抗性涂层，SCL CD 500包括用于维持基板和基板卡盘平整度的先进运动，确保了精确均匀的涂层。CD 500的旋转头具有广泛的旋转速度设置，允许用户调整速度以适应光刻胶的类型和厚度。在制图和蚀刻过程中，该机具有高精度喷射水平，有多个喷嘴，位置精度为1 μ m，以确保光刻胶层的制图均匀。集成式排水阀有助于确保光敏液体的正确处置，而集成式真空泵有助于最大限度地减少气泡，在基板上形成高度均匀和致密的光敏。SCL CD 500是一种高度精确的自动化光刻工具,旨在有效地为要求苛刻的FPD和半导体应用提供最高质量的结果。其先进的特性和技术确保了高度均匀和清洁的光敏涂层和图桉，提供了一致的工艺结果，使复杂的FPD应用成为一种微风。