二手 SCL CD 500 #293819405 待售

SCL CD 500是一种高分辨率的光阻设备，设计用于精确地在只读存储器（ROM）和动态随机存取存储器（DRAM）上创建用于集成电路（IC）制造的高分辨率模式。它与包括0.25 um、0.18 um和90 nm在内的主要工艺流程兼容。其单步、以化学为基础的工艺消除了多次接触步骤的需要，从而显着加快了生产率。该单元还可以提供均匀的图样密度以及其他光刻或电子束工艺无法比拟的忠实图样和可控灵敏度。CD 500的主要优点是成本低、吞吐量高、分辨率好。机器可以方便地处理2D和3D结构，因此可以用来创建内存技术所需的错综复杂的接触层和高度的互连性。此外，该工艺还能抵抗环境污染物和温度波动的影响。光致抗蚀剂工具的关键组件包括自动装载机、图桉化ROM、显影剂资产和旋转涂层室。自动加载程序将阵列化的ROM加载到模型中,并允许自动操作以进行大批量生产。ROM由金属氧化物半导体（MOS）层组成，并以感光化学掺杂剂或"光致抗蚀剂"图样。然后,显影剂设备将曝光的图样按ROM中的光致抗蚀剂图样进行操作。旋转涂层室以精确的速率将光刻胶旋转到ROM的表面上,以确保涂层均匀。通过如上所述的过程，图样化的光刻胶层可以转移到ROM上。最后，该系统配备了前沿自动化和监控系统，便于设置和融入现有生产线。这可以实现完整的过程控制,并提高光刻装置的准确性和可靠性。总之，SCL CD 500光刻机是一种精确可靠的工具，用于创建高密度的图样和互连。它提供了优于传统光刻和电子束工艺的分辨率和速度。该工具也是IC生产的经济选择，可以很容易地融入现有生产线。