二手 SCL CD 500 #293819612 待售

SCL CD 500是一种用于微加工的光刻设备。它涉及在硅基板上应用光敏材料，称为光敏材料。这种光致抗蚀剂随后被暴露在强大的脉冲激光下，在光致抗蚀剂中产生一种化学和结构变化的图样，可以用来精确形成膜、层和其他特征。CD 500非常适合用于半导体制造应用,因为它可以产生非常精确的几何形状和极低特征尺寸的结构。光刻胶由两种不同的组分组成，一种感光剂和一种树脂。感光剂是一种吸收激光能量的材料，导致在光致抗蚀剂中发生反应。树脂组分是在基板上形成膜的聚合物。使用激光对薄膜进行图样化，薄膜的暴露区域进行蚀刻。此蚀刻步骤在光刻胶内创建所需的结构。SCL CD 500以称为直写激光快速原型（DW-LRP）的方式运作。这种方法结合了电子束光刻（EBL）和激光快速原型，以及常规的扫描激光光斑光刻（SSLL）。DW-LRP能够在短时间内创建非常高分辨率的结构。CD 500具有250Hz的激光重复率,使其能够产生特征尺寸极小的图样。该系统还能够同时产生多层。这种能力对于产品需要多层的应用是有益的，例如太阳能电池或发光二极管。SCL CD 500单元提供了一系列环境效益。这是一个无害环境的过程，因为它不会产生有害污染物或废物。该机还使用相对较低的能量，这有助于降低运营成本。此外,该工具非常可靠,产生一致的结果,并且只需最少的维护。总体而言，CD 500是专门为微加工应用开发的高度先进的光刻胶资产。它具有很高的精度，能够在相对较短的时间内产生高度复杂的结构。该模型的无害环境操作进一步增加了其价值，使其成为生产半导体工业元件的有用和具有成本效益的工具。