二手 SCL SD 3000 #9052117 待售
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ID: 9052117
Dip coating machine
Class 1000 (inside the machine)
Temperature: 20°c +/- 2°c
Humidity: < 50%
Lenses racks:
(15) Racks, 28 mm, 2 x 18 lenses
(5) Racks, 35 mm, 2 x 14 lenses
Temperature (in the tanks):
Detergent tanks: up 60º C
City water rinsing tanks: Ambient temperature
DI Water tanks: 38º C
Liquid range of viscosity limitation:
Varnish pumps: ~ 5 CP
Air filters: Laminar flow inside machine
Absolute EPA filter and pre filter
Raw materias:
Stainless steel tanks
Over flow tanks
Pipes
FIlter
Stainless steel varnish circuit
Dipping speed limit:
Lift out tank 7 (Di water)
Dipping varnish tank (1&2)
1 mm/s (10%) to 8 mm/s (100%)
Coating tank: 5º C, 10º C, 20º C
Limitation – temperature & concentration:
Detergent – 60º C.
NaOH: up to 15%
Varnish: temperature controlled by chiller, between ambient and 5º C
Water:
Tap water with pipe Ø 16 mm
D.I water with pipe Ø 16 mm
Draining PVC pipes Ø 50 mm
400 V 50/60 Hz, 3 phases + neutral + ground, 22KW.
SCL SD 3000是一种光阻设备，设计用于微电子和层压等工业应用。该系统使用精密的电子束在各种底物上创建图样和形状。该单元能够精确、精确地蚀刻各种材料，包括钢、铝和半导体。机器创建的蚀刻模式可用于创建各种设备和产品,从表面安装技术组件到天线和RFID标签。SD 3000使用专门的化学蒸气容器（CVV）将基材浸入光刻胶中。CVV被加热到一个特定的温度，这会使光致抗蚀剂变得更粘稠。这使电子束能够快速准确地扫描所需的基板表面图样或形状。电子束经过微调，提供了高精度，即使对于错综复杂的形状和细节图桉也是如此。电子束被一个充满惰性气体的气室包围，如氮气、氙气和氙气。当电子束移动时，它会产生一个电弧来加热惰性气体，这反过来又会使少量的光致抗蚀剂蒸发到基材上。电弧和加热气体的结合产生一个等离子体，它以所需的模式将光致抗蚀剂沉积到基板表面上。整个过程发生在CVV腔内，蒸汽沉积的光致抗蚀剂是高度均匀和有弹性的。SCL SD 3000还附带了用于控制用电子束创建的图样和形状的集成软件。这样就可以快速轻松地自定义要创建的形状和模式,以便用户可以创建复杂的形状和详细的模式。该软件还可以轻松集成到现有系统中,从而轻松将SD 3000集成到任何现有的生产过程中。整体SCL SD 3000是一种强大而精确的光刻工具，可用于在各种材料上创建复杂的形状和图桉。电子束精度高，提供了高度的精确度，集成软件允许对正在创建的形状和图桉进行快速轻松的定制。最后,资产安全可靠,确保每次结果一致。因此，SD 3000是微电子和层压等工业应用的宝贵工具。
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