二手 SCREEN RF3 #9311026 待售

SCREEN RF3是一种光刻设备，能够实现高精度和超高精度的微光刻工艺。它采用了先进的软件控制的光学系统，允许对光刻工艺的操纵，以最高的精度创造出极其复杂和微小的图桉。该单位由两个主要组成部分组成；激光扫描仪和高度精确的六轴级。激光扫描仪允许精确和精确地曝光光刻材料。这台激光扫描机配备了一个扫描头，能够在亚微米到几百微米的范围内工作，高速高达1 GHz。六轴级装有可调装置，保证晶圆准确稳定的定位。该级还可以以0.001°到0.0015°的增量旋转晶片，以创建更复杂的结构。RF3工具精确可靠；它具有自动对准和闭环对准伺服,用于反馈控制和连续清洁室操作。这确保了很高的准确性，同时减轻了由于振动或热噪声造成的污染风险。此外,该资产还能够产生出色的晶圆均匀性和低噪声配置文件,从而获得最佳的设备性能和产量。它还有一个额外的原位计量方桉，允许在过程中监测和控制光刻胶工艺。SCREEN RF3模型为光刻过程提供了最高的精度和精确度，产生了非凡的产品性能和最小化的产量。该设备现已广泛应用于半导体和纳米技术工艺行业。